Micron silic cacbua xanh để đánh bóng vật liệu PZT
Nói chung, việc xử lý bề mặt của PZT, chẳng hạn như làm nhám và mài phân cấp, được thực hiện với cacbua silic xanh 50 micron, 40 micron, 20 micron và 14 micron. Sau khi làm nhám, bề mặt tấm wafer đồng nhất, không bị trầy xước, độ nhám có thể đạt 1,2-1,5um. Trong công đoạn