Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4
và chiết suất n = 1,46 [3, 21]. Đối với silic đioxit, hệ số giãn nở nhiệt thấp, điều này có nghĩa là nó không gây áp lực lên các vật liệu khác khi tiếp xúc. Mặt khác, độ dẫn nhiệt của màng mỏng SiO2 phụ thuộc vào sự thay đổi độ dày màng [7]. Silic đioxit