Những điều bạn nên biết về sự lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)
Nguyên lý làm việc của ALD. Nhiều loại vật liệu có thể được lắng đọng bằng cách lắng đọng lớp nguyên tử, chẳng hạn như: Oxit: bao gồm HfO2, HfSiO, Al2O3, Ta2O5, TiO2, La2O3, SiO2, ZnO. 2. So sánh ALD, PVD và CVD. So với công nghệ bào chế màng mỏng truyền thống, công nghệ lắng