Silicon đơn tinh thể: Tăng trưởng và thuộc tính
Trichlorosilan, có nhiệt độ sôi cao (31,8 ∘ C), được chưng cất từng phần từ các halogenua không tinh khiết, dẫn đến độ tinh khiết tăng lên rất nhiều, với nồng độ tạp chất hoạt động điện nhỏ hơn 1 ppba. Sau đó, trichlorosilan có độ tinh khiết cao được làm bay hơi, pha