Cấu tạo và tính chất vật lí sio2 | Xemtailieu
dẫn nhiệt 0,01 W / cm K (số lượng lớn) nhiệt độ khuếch tán Cm2/sec 0,009 (số lượng lớn) hệ số giãn nở nhiệt 0,5 ppm / K [lưu ý Si nhiệt điểm kinh nghiệm 2,3 ppm / K] chiết suất hằng số điện môi - 1,46 [nhiệt oxide] 3,9 [nhiệt oxide]; CVD oxit khác nhau tùy thuộc vào H