Sự phát triển tinh thể silic cacbua bằng phương pháp pha hơi
Apr · PVT và HTCVD là các phương pháp chính để tăng trưởng tinh thể cacbua silic sự phát triển của tinh thể cacbua silic bằng PVT là một quá trình vật lý và hóa học PVT and HTCVD are the main methods for silicon carbide crystal growth the growth of silicon carbide crystal by PVT is a physical and chemical