Quy trình cấy ion của Silicon (Si) Wafer là gì
May · Quy trình Cấy Ion Silicon Là Gì Cấy ion về bản chất là một quá trình bắn phá vật lý đó là pha tạp các ion tích điện có năng lượng nhất định vào silicon Năng lượng cấy vào giữa keV và MeV và độ sâu phân bố ion trung bình tương ứng là từ nm đến um Khi các ion