Chế tạo màng mỏng si3n4, sio2 và màng treo si3n4 bằng …
lƣợng riêng khi ở dạng vô định hình là 2,196 g.cm-3, nhiệt độ nóng chảy tại 2950 và chiết suất n = 1,46 [3, 21]. Đối với silic đioxit, hệ số giãn nở nhiệt thấp, điều này có nghĩa là nó không gây áp lực lên các vật liệu khác khi tiếp xúc. Mặt khác, độ dẫn